细小工件高精度检测

随着现在精加工与微制造行业的发展,对小尺寸工件物料的检测精度要求越来越高。比如细小电容瑕疵检测、j晶圆检测、FPD坏点检测、PCB金线检测等等。

实际案例
我们专门针对小工件测量检测定制开发成套的软硬件方案,实现检测精度高达1um,重复性好,可靠性高。
        我司可以专门针对不同的样品开发专属的检测系统。我们有专业的视觉实验室,可以为您免费提供专业的检测方案和报告书。

功能
1 高精度测量精密工件的尺寸
2 测量稳定性高,结果重复一致性好
3 边缘锐利,过度像素像素1个之内
4 高精度测量精度可达1um以上

特点
背光源用远心光源,保证平行性、均匀性
采用远心镜头,提高检测的精度,消除位置带来的误差
采用进口CCD相机,提高系统精度和稳定性

系统搭建图

所采用的器件如下

器件 型号 参数 数量
CCD相机 Baumer TXG50 500万像素,15fps 1
远心镜头 HX018-5M110 0.18X, 500万像素双远心 1
远心光源 HL50 50mm, 蓝光 1
算法   亚像素测量 1







现场系统如下





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